ПРОБЛЕМЫ СТАБИЛЬНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР
Создание современных МЭУ неразрывно связано с построением многослойных плёночных структур (МПС), изготавливаемых на основе различных по своей природе материалов. Известно, что структура и напряжения в плёнках в значительной степени отличаются от тех, что хаpaктерны для массивных образцов. Напряженное состояние структуры является неустойчивым, релаксация сопровождается структурными и морфологическими изменениями, что приводит к деградации слоёв и нестабильности их хаpaктеристик. При контакте разнородных материалов в многослойных структурах деградация усиливается за счёт процессов, происходящих на границе слоёв (взаимная диффузия и растворение, химическое взаимодействие). Интенсивность указанных процессов, резко усиливающихся с повышением температуры, определяется природой контактирующих материалов и структурой слоёв. Повышение стабильности МПС возможно путём уменьшения деградационных процессов, происходящих, как в самих плёнках, так и на границе различных материалов.
В металлодиэлектрических МПС одной из основных причин разрушения является химическое взаимодействие освобождающегося кислорода из оксида диэлектрика с металлом проводящего слоя. Степень освобождения кислорода определяется термодинамической прочностью оксидов. Устойчивость оксидов против химикотермического взаимодействия можно представить в виде следующей последовательности: Al2O3 > ZrO2 > TiO2 > SiO2 > Ta2O5 > Nb2O5 > V2O5.
Склонность к деградации МПС определяется также растворимостью газов в металлах проводящих слоёв; из высокотемпературных металлов наименьшее количество газов поглощают металлы VI и VIII групп. Ещё одним фактором, влияющим на выбор материалов, особенно для термостойких МПС является близость температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР), т.к. при значительной разнице ТКЛР возникающие напряжения и деформации способствуют взаимодействию разнородных слоёв и проникновению освобождающегося кислорода оксида в слой проводника.
Многие технологические операции, реализуемые при создании микроструктур, выполняются при повышенных температурах, поэтому деградационные процессы в МПС могут происходить не только при эксплуатации, но и в процессе изготовления МЭУ. Учитывая указанные обстоятельства, для МПС, особенно предназначенных для работы при повышенных температурах, наиболее предпочтительными металлами являются молибден и вольфрам. В тоже время большая разница в ТКЛР плёнок металлов и оксидов циркония тантала ограничивает возможность применения последних в термостойких металлодиэлектрических структурах; более стабильными являются МПС, где в качестве диэлектриков используются оксиды алюминия и кремния.
Статья в формате PDF 277 KB...
16 04 2024 21:18:42
Статья в формате PDF 123 KB...
15 04 2024 13:47:40
Статья в формате PDF 142 KB...
14 04 2024 1:12:46
Статья в формате PDF 196 KB...
13 04 2024 3:33:49
Статья в формате PDF 114 KB...
11 04 2024 2:32:22
Статья в формате PDF 234 KB...
10 04 2024 22:17:25
Статья в формате PDF 136 KB...
09 04 2024 19:22:22
В данной работе приводятся результаты экологических исследований по состояния северных экосистем, с целью разработки возможных мероприятий по снижению негативных воздействий на окружающую среду при горно-добычных работах открытых карьерным способом. Выявлены закономерности приуроченности накопления тяжелых металлов на определенных типах почв. ...
05 04 2024 6:23:48
Статья в формате PDF 220 KB...
04 04 2024 21:38:54
Статья в формате PDF 220 KB...
03 04 2024 6:54:18
Статья в формате PDF 161 KB...
02 04 2024 0:10:39
Статья в формате PDF 111 KB...
01 04 2024 1:21:35
Статья в формате PDF 249 KB...
31 03 2024 9:59:16
Статья в формате PDF 255 KB...
30 03 2024 0:47:55
Статья в формате PDF 128 KB...
28 03 2024 21:10:15
Статья в формате PDF 244 KB...
27 03 2024 18:31:40
Статья в формате PDF 507 KB...
26 03 2024 23:10:25
Статья в формате PDF 106 KB...
25 03 2024 3:17:21
Статья в формате PDF 295 KB...
23 03 2024 18:31:37
Статья в формате PDF 138 KB...
22 03 2024 19:28:51
Статья в формате PDF 157 KB...
21 03 2024 21:12:34
Статья в формате PDF 112 KB...
20 03 2024 12:23:35
Статья в формате PDF 100 KB...
19 03 2024 22:36:37
Статья в формате PDF 119 KB...
18 03 2024 0:34:57
Статья в формате PDF 114 KB...
17 03 2024 20:25:33
Статья в формате PDF 126 KB...
16 03 2024 20:49:53
Статья в формате PDF 102 KB...
15 03 2024 1:32:14
Статья в формате PDF 361 KB...
14 03 2024 7:10:42
Статья в формате PDF 253 KB...
13 03 2024 12:26:20
Статья в формате PDF 204 KB...
12 03 2024 1:41:15
Статья в формате PDF 215 KB...
11 03 2024 20:50:19
Статья в формате PDF 147 KB...
10 03 2024 7:15:58
Статья в формате PDF 114 KB...
09 03 2024 15:33:58
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::