ВЛИЯНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПРОЦЕСС ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ > Полезные советы
Тысяча полезных мелочей    

ВЛИЯНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПРОЦЕСС ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ

ВЛИЯНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПРОЦЕСС ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ

Жалнова Е.В. Кубрин В.И. Статья в формате PDF 130 KB

В настоящее время совершенствованию технологии изготовления приборов на основе использования сложных полупроводников уделяется значительное внимание [1, 2]. При этом одной из ведущих проблем остается разработка методов прецизионного формирования на поверхности функционального слоя заданного микрорельефа. Одним из ведущих направлений решения данной проблемы является травление микрорельефа с использованием низкотемпературной газоразрядной плазмы, решающим достоинством которого является возможность травления с высокой анизотропностью [3].

Целью настоящей работы является исследование особенностей травления фосфида индия в химически активной низкотемпературной плазме магнетронного разряда.

Эксперименты проводились в реакторе, который конструктивно представляет собой заземленный электрод, служащий вакуумной камерой, выполненный в виде тонкостенного прямоугольного параллелепипеда и верхней герметизирующей крышки, также являющейся частью заземленного электрода. В верхней крышке имеется окно для контроля процесса травления. Через боковые стенки вакуумной камеры-реактора происходит прохождение магнитного поля внутрь технологического объема. Внутри вакуумной камеры на осях симметрии размещен электрод, служащий подложкодержателем, на который подается ВЧ-напряжение. В этом электроде-подложкодержателе имеются каналы для циркулирования охлаждающей жидкости. Электрод-подложкодержатель закреплен внутри вакуумной камеры на трубках, которые служат одновременно для подачи охлаждающей жидкости. Герметизирующие прокладки у этих трубок одновременно являются диэлектрическими изоляторами. Снаружи вакуумной камеры расположена система магнитов. Размеры магнитных панелей выполнены с учетом того, чтобы была использована полностью центральная часть разрядной камеры, и вектор напряженности магнитного поля имел в основном составляющую параллельную рабочей поверхности электрода-подложкодержателя. Конструкция магнетронного реактора с горением разряда вокруг электрода-подложкодержателя обеспечивает получение плотности мощности разряда 3 Вт/см2 и при максимальной мощности питающего ВЧ-генератора 2,5 кВт. Минимальное рабочее давление, полученное в таком реакторе, при котором устойчиво зажигается разряд составляет 0,13 Па.

Регулирование индукции магнитного поля проводилось путем увеличения расстояния между системой магнитов и стенками вакуумной камеры-реактора. Зависимости скорости травления InP от индукции магнитного поля при различных давлениях в реакторе и с использованием в качестве плазмообразующего рабочего газа C2C13F3 представлены на рис.1. При увеличении индукции магнитного поля скорость травления InP возрастает, что объясняется увеличением плотности мощности разряда. Кроме того, с увеличением давления наблюдается такого уменьшение влияния, вследствие того, что травление носит в большой степени химический хаpaктер. Применение магнетронного разряда позволяет получать значительно более высокие плотности мощности разряда, проводить травление при более низких давлениях, что позволяет проводить процесс при высокой анизотропии.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

  1. Алферов Ж.И. История и будущее полупроводниковых структур. - ФТП, 1998, т.32, №1, с.3-78
  2. Материалы 20-й Международной конференции по фосфиду индия и родственным материалам IPRM-2008 (Франция, Версаль, 2008). - http://www.expoclub.ru/db/conference/view.
  3. Кушхов А.Р. Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники: Дис. канд. техн., наук: 05.27.01. - Нальчик, 2004. 148 с.


ИЗЫСКАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ВОЗМОЖНОСТЕЙ ИНТЕНСИФИКАЦИИ ПРОЦЕССОВ РЕЗАНИЯ МЕТАЛЛА

ИЗЫСКАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ВОЗМОЖНОСТЕЙ ИНТЕНСИФИКАЦИИ ПРОЦЕССОВ РЕЗАНИЯ МЕТАЛЛА Статья в формате PDF 304 KB...

02 05 2024 21:40:41

СОСТОЯНИЕ РАДИКАЛОБРАЗУЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ ЛЕЙКОЦИТОВ У БОЛЬНЫХ СЕПСИСОМ СТАФИЛОКОККОВОЙ ЭТИОЛОГИИ

СОСТОЯНИЕ РАДИКАЛОБРАЗУЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ ЛЕЙКОЦИТОВ У БОЛЬНЫХ СЕПСИСОМ СТАФИЛОКОККОВОЙ ЭТИОЛОГИИ Статья в формате PDF 110 KB...

01 05 2024 19:45:38

АКТИВИЗАЦИЯ САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ СТУДЕНТОВ ПРИ ИЗУЧЕНИИ ХИМИЧЕСКИХ ДИСЦИПЛИН В АГРАРНЫХ ВУЗАХ

АКТИВИЗАЦИЯ САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ СТУДЕНТОВ ПРИ ИЗУЧЕНИИ ХИМИЧЕСКИХ ДИСЦИПЛИН В АГРАРНЫХ ВУЗАХ Статья в формате PDF 94 KB...

30 04 2024 23:26:57

Возможности склеротерапии вен пищевода на современном этапе лечения синдрома портальной гипертензии у детей

Возможности склеротерапии вен пищевода на современном этапе лечения синдрома портальной гипертензии у детей Статья в формате PDF 111 KB...

29 04 2024 9:13:45

ГОМЕОСТАЗ КАК ЕДИНСТВО МЕТАБОЛИЧЕСКОЙ, ИФОРМАЦИОННО-ИНТЕГРАТИВНОЙ И ЛОКОМОТОРНОЙ СИСТЕМ

ГОМЕОСТАЗ КАК ЕДИНСТВО МЕТАБОЛИЧЕСКОЙ, ИФОРМАЦИОННО-ИНТЕГРАТИВНОЙ И ЛОКОМОТОРНОЙ СИСТЕМ Статья в формате PDF 132 KB...

28 04 2024 2:16:30

Правовое регулирование торговых договоров между государствами

Правовое регулирование торговых договоров между государствами Статья в формате PDF 114 KB...

27 04 2024 21:19:29

ПРОДУКЦИЯ АКТИВНЫХ ФОРМ КИСЛОРОДА ЦИРКУЛИРУЮЩИМИ ФАГОЦИТАМИ И СУСТАВНОЙ СИНДРОМ ПРИ СИСТЕМНОЙ КРАСНОЙ ВОЛЧАНКЕ

ПРОДУКЦИЯ АКТИВНЫХ ФОРМ КИСЛОРОДА ЦИРКУЛИРУЮЩИМИ ФАГОЦИТАМИ И СУСТАВНОЙ СИНДРОМ ПРИ СИСТЕМНОЙ КРАСНОЙ ВОЛЧАНКЕ Статья в формате PDF 111 KB...

26 04 2024 13:53:43

К ВОПРОСУ О ПОВЫШЕНИИ КАЧЕСТВА ОБРАЗОВАНИЯ ЗА СЧЕТ ПРИМЕНЕНИЯ АКТИВНЫХ ФОРМ ОБУЧЕНИЯ

К ВОПРОСУ О ПОВЫШЕНИИ КАЧЕСТВА ОБРАЗОВАНИЯ ЗА СЧЕТ ПРИМЕНЕНИЯ АКТИВНЫХ ФОРМ ОБУЧЕНИЯ Статья в формате PDF 103 KB...

25 04 2024 5:56:35

СОЮЗ ФИЗИКИ И ИСКУССТВА (ПОНЯТИЕ ВРЕМЕНИ)

СОЮЗ ФИЗИКИ И ИСКУССТВА (ПОНЯТИЕ ВРЕМЕНИ) Статья в формате PDF 250 KB...

24 04 2024 0:36:49

ПРОЕКТ ФОНОХРЕСТОМАТИИ «ГОВОРЫ ТОТЕМСКОГО РАЙОНА ВОЛОГОДСКОЙ ОБЛАСТИ»

ПРОЕКТ ФОНОХРЕСТОМАТИИ «ГОВОРЫ ТОТЕМСКОГО РАЙОНА ВОЛОГОДСКОЙ ОБЛАСТИ» Статья в формате PDF 313 KB...

23 04 2024 5:27:36

ОДОНТОГЕННАЯ КИСТА КАК КСЕНОПАРАЗИТАРНЫЙ БАРЬЕР РАЗВИТИЯ ПАТОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА

ОДОНТОГЕННАЯ КИСТА КАК КСЕНОПАРАЗИТАРНЫЙ БАРЬЕР РАЗВИТИЯ ПАТОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА Статья в формате PDF 126 KB...

22 04 2024 8:39:54

ИНТЕГРАЦИЯ КОМПЬЮТЕРНЫХ ИГР НА УРОКАХ МУЗЫКИ

ИНТЕГРАЦИЯ КОМПЬЮТЕРНЫХ ИГР НА УРОКАХ МУЗЫКИ Статья в формате PDF 281 KB...

21 04 2024 23:44:34

О КОНЕЧНЫХ ПОВОРОТАХ ТВЕРДОГО ТЕЛА С НЕПОДВИЖНОЙ ТОЧКОЙ

О КОНЕЧНЫХ ПОВОРОТАХ ТВЕРДОГО ТЕЛА С НЕПОДВИЖНОЙ ТОЧКОЙ Статья в формате PDF 590 KB...

20 04 2024 16:38:47

Степень риска при воздействии диоксинов

Степень риска при воздействии диоксинов Статья в формате PDF 114 KB...

19 04 2024 1:40:22

ВОДА И ФЭН-ШУЙ

ВОДА И ФЭН-ШУЙ Статья в формате PDF 323 KB...

18 04 2024 4:30:48

ХИМИЧЕСКИ МОДИФИЦИРОВАННЫЙДИАТОМИТ ДЛЯ ОЧИСТКИ СТОЧНЫХ ВОД ОТНЕФТЕПРОДУКТОВ

ХИМИЧЕСКИ МОДИФИЦИРОВАННЫЙДИАТОМИТ ДЛЯ ОЧИСТКИ СТОЧНЫХ ВОД ОТНЕФТЕПРОДУКТОВ Статья в формате PDF 199 KB...

17 04 2024 5:24:20

РОСТ И РАЗВИТИЕ ПОДСВИНКОВ ПОД ВЛИЯНИЕМ СЕЛЕНСОДЕРЖДАЩИХ И ФЕРМЕНТНЫХ ПРЕПАРАТОВ

РОСТ И РАЗВИТИЕ ПОДСВИНКОВ ПОД ВЛИЯНИЕМ СЕЛЕНСОДЕРЖДАЩИХ И ФЕРМЕНТНЫХ ПРЕПАРАТОВ Статья в формате PDF 117 KB...

16 04 2024 8:15:30

УЧЕНИЕ В.И. ВЕРНАДСКОГО И ЗДОРОВЬЕ НАСЕЛЕНИЯ

УЧЕНИЕ В.И. ВЕРНАДСКОГО И ЗДОРОВЬЕ НАСЕЛЕНИЯ Статья в формате PDF 89 KB...

15 04 2024 7:32:59

Состояние ВИЧ-инфекции по Ханты-Мансийскому автономному округу

Состояние ВИЧ-инфекции по Ханты-Мансийскому автономному округу Статья в формате PDF 127 KB...

14 04 2024 19:43:56

АЛГОРИТМ РАСЧЕТА МОДИФИЦИРОВАННОЙ ГЕРТ-СЕТИ

АЛГОРИТМ РАСЧЕТА МОДИФИЦИРОВАННОЙ ГЕРТ-СЕТИ Статья в формате PDF 130 KB...

13 04 2024 19:36:55

УГОЛОВНАЯ –ПРАВОВАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ЭКОЛОГИЧЕСКОГО ТЕРРОРИЗМА

УГОЛОВНАЯ –ПРАВОВАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ЭКОЛОГИЧЕСКОГО ТЕРРОРИЗМА Статья в формате PDF 124 KB...

12 04 2024 2:22:48

ENGLISH FOR CHEMICAL ENGINEERING: POLYMERS (учебно-методическое пособие по профессионально-ориентированному английскому языку)

ENGLISH FOR CHEMICAL ENGINEERING: POLYMERS (учебно-методическое пособие по профессионально-ориентированному английскому языку) Статья в формате PDF 127 KB...

11 04 2024 4:49:54

ИННОВАЦИОННАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ ПРИ РЕШЕНИИ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ СЕВЕРА

ИННОВАЦИОННАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ ПРИ РЕШЕНИИ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ СЕВЕРА Статья в формате PDF 146 KB...

10 04 2024 12:23:10

УСЛОВИЯ, НЕОБХОДИМЫЕ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАУЧНОЙ ГИПОТЕЗЫ, ТЕОРИИ, НАУЧНОГО НАПРАВЛЕНИЯ

УСЛОВИЯ, НЕОБХОДИМЫЕ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАУЧНОЙ ГИПОТЕЗЫ, ТЕОРИИ, НАУЧНОГО НАПРАВЛЕНИЯ Статья в формате PDF 109 KB...

09 04 2024 21:13:46

PATHOGENICAL AND PATHOMORPHOLOGICAL ASPECTS OF INFANTILE CEREBRAL PARALYSIS

PATHOGENICAL AND PATHOMORPHOLOGICAL ASPECTS OF INFANTILE CEREBRAL PARALYSIS Статья в формате PDF 119 KB...

08 04 2024 12:52:57

СОВРЕМЕННЫЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ ОБ ЭТИОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРАХ И ФАКТОРАХ РИСКА РАЗВИТИЯ ГИПЕРПЛАСТИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ЭНДОМЕТРИЯ. СООБЩЕНИЕ 2. ФАКТОРЫ РИСКА РАЗВИТИЯ ГИПЕРПЛАСТИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ЭНДОМЕТРИЯ

СОВРЕМЕННЫЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ ОБ ЭТИОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРАХ И ФАКТОРАХ РИСКА РАЗВИТИЯ ГИПЕРПЛАСТИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ЭНДОМЕТРИЯ. СООБЩЕНИЕ 2. ФАКТОРЫ РИСКА РАЗВИТИЯ ГИПЕРПЛАСТИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ЭНДОМЕТРИЯ В работе представлен анализ данных литературы, а также собственных клинико–лабораторных обследований пациенток с дисфункциональными маточными кровотечениями и гистологически - подтвержденным диагнозом гиперплазии эндометрия, что позволило систематизировать современные представления о хаpaктере гeнитaльной и экстрагeнитaльной патологии, на фоне которой развиваются гиперпластические процессы эндометрия, и об их взаимосвязи c онкогинекологическими заболеваниями. ...

07 04 2024 21:18:39

СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОМ СУШКИ ФОСФОЛИПИДНЫХ ЭМУЛЬСИЙ ПОДСОЛНЕЧНЫХ МАСЕЛ В КОНИЧЕСКОМ РОТАЦИОННО-ПЛЕНОЧНОМ АППАРАТЕ

СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОМ СУШКИ ФОСФОЛИПИДНЫХ ЭМУЛЬСИЙ ПОДСОЛНЕЧНЫХ МАСЕЛ В КОНИЧЕСКОМ РОТАЦИОННО-ПЛЕНОЧНОМ АППАРАТЕ Статья в формате PDF 384 KB...

06 04 2024 23:18:58

АНАЛИЗ ПОНЯТИЯ «СИСТЕМЫ» С ЦЕЛЬЮ ПОИСКА «ЦЕЛОГО»

АНАЛИЗ ПОНЯТИЯ «СИСТЕМЫ» С ЦЕЛЬЮ ПОИСКА «ЦЕЛОГО» Любая научная дисциплина строится на основных понятиях, которые, являясь фундаментальными, имеют философский исток. В биологических науках среди прочих таковыми являются понятия «системы» и «целого». В настоящее время возникла необходимость по-новому взглянуть на их роль в решении вопроса о функционировании живого организма, на их взаимоотношения и структурно-функциональное наполнение. Первый шаг в таком рассмотрении сделан авторами настоящей статьи, в которой определено место этих понятий в описании функций живого, как в теоретическом, так и в пpaктическом плане. ...

05 04 2024 0:34:41

ПРИМЕНЕНИЕ ИНУЛИНСОДЕРЖАЩЕГО РАСТИТЕЛЬНОГО СЫРЬЯ В МОЛОЧНОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

ПРИМЕНЕНИЕ ИНУЛИНСОДЕРЖАЩЕГО РАСТИТЕЛЬНОГО СЫРЬЯ В МОЛОЧНОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ Статья в формате PDF 295 KB...

04 04 2024 14:14:13

КОМПЬЮТЕРНОЕ ПРОГНОЗИРОВАНИЕ ТЕПЛОВЛАЖНОСТНЫХ И ВОЗДУШНЫХ РЕЖИМОВ В ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ

КОМПЬЮТЕРНОЕ ПРОГНОЗИРОВАНИЕ ТЕПЛОВЛАЖНОСТНЫХ И ВОЗДУШНЫХ РЕЖИМОВ В ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ Статья в формате PDF 245 KB...

03 04 2024 9:23:12

ПРИОРИТЕТНЫЕ ОТРАСЛИ РАЗВИТИЯ ВОРОНЕЖСКОЙ ОБЛАСТИ

ПРИОРИТЕТНЫЕ ОТРАСЛИ РАЗВИТИЯ ВОРОНЕЖСКОЙ ОБЛАСТИ Статья в формате PDF 268 KB...

02 04 2024 4:16:25

РЕАКТИВНЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ КЛЕТКИ ПОД ВЛИЯНИЕМ БИОКОМПЛЕКСА ЦИНКА

РЕАКТИВНЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ КЛЕТКИ ПОД ВЛИЯНИЕМ БИОКОМПЛЕКСА ЦИНКА Статья в формате PDF 107 KB...

01 04 2024 10:34:22

СОСУДИСТЫЕ НАРУШЕНИЯ И УРОВЕНЬ ОКСИДА АЗОТА ПРИ ГЕСТОЗЕ

СОСУДИСТЫЕ НАРУШЕНИЯ И УРОВЕНЬ ОКСИДА АЗОТА ПРИ ГЕСТОЗЕ Статья в формате PDF 123 KB...

31 03 2024 14:35:34

ИССЛЕДОВАНИЕ ТОКСИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ОТХОДА ПИЩЕВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ МЕТОДОМ БИОТЕСТИРОВАНИЯ

ИССЛЕДОВАНИЕ ТОКСИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ОТХОДА ПИЩЕВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ МЕТОДОМ БИОТЕСТИРОВАНИЯ Статья в формате PDF 118 KB...

30 03 2024 23:32:28

К изучению почвенных водорослей охраняемых территорий Северо-Западного Кавказа

К изучению почвенных водорослей охраняемых территорий Северо-Западного Кавказа Статья в формате PDF 114 KB...

29 03 2024 1:22:40

РОЛЬ ГУМОРАЛЬНОГО ИММУНИТЕТА ПРИ ВАКЦИНАЦИИ ПРОТИВ ВИРУСА КРАСНУХИ

Статья в формате PDF 251 KB...

28 03 2024 4:42:44

ЭКОНОМИКА СЕМЬИ: ПРОБЛЕМЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ

ЭКОНОМИКА СЕМЬИ: ПРОБЛЕМЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ Статья в формате PDF 308 KB...

27 03 2024 11:47:42

ЕСТЕСТВЕННОНАУЧНЫЕ ОСНОВАНИЯ СТЕРЕОХРОНОДИНАМИКИ (ПРОДОЛЖЕНИЕ 2-е)

ЕСТЕСТВЕННОНАУЧНЫЕ ОСНОВАНИЯ СТЕРЕОХРОНОДИНАМИКИ (ПРОДОЛЖЕНИЕ 2-е) Статья в формате PDF 253 KB...

26 03 2024 21:21:38

СОСТОЯНИЕ ФАГОЦИТАРНОЙ СИСТЕМЫ КРОВИ В НСТ-ТЕСТЕ У БОЛЬНЫХ ВИЧ-ИНФЕКЦИЕЙ

СОСТОЯНИЕ ФАГОЦИТАРНОЙ СИСТЕМЫ КРОВИ В НСТ-ТЕСТЕ У БОЛЬНЫХ ВИЧ-ИНФЕКЦИЕЙ Статья в формате PDF 148 KB...

25 03 2024 23:28:26

МЕТОДЫ УЛУЧШЕНИЯ ТЕХПРОЦЕССА ОБРАБОТКИ ДЕТАЛИ «КОРПУС»

МЕТОДЫ УЛУЧШЕНИЯ ТЕХПРОЦЕССА ОБРАБОТКИ ДЕТАЛИ «КОРПУС» Статья в формате PDF 265 KB...

24 03 2024 8:15:28

Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::